适用工件：
(Applicable parts) |
1-1.7米，8寸，12寸石英管兼容和石英部件
1-1.7 m length,8”,12”Quartz tube &Quartz parts |
批量产能：
(Capacity) |
根据客户需求/Customerized |
工艺流程：
(Procedure flow) |
人工上料→炉管旋转，药液循环清洗→药液排放至储酸槽→纯水清洗→氮气吹干→人工下料
Manual Load→Quartz tube rotation,chemicals recycling clean→Chemicals Drain to tank of acid storage→DIW clean→N2 Dry→Manual Unload |
主要材料：
(Major material) |
金属骨架SUS304,槽体采用PPN或PVDF
(Metal frame SUS 304,the tank uses PPN or PVDF) |
运送方式：
(Transportation) |
手动传送
(Manual) |
节拍时间：
(Step time) |
依工艺可调
(Based on process,Adjustable) |
工艺效果：
(Process effect) |
清除石英管件上的污染物/Remove contaminant on the surface of Quartz parts or Tube) |
| 其他说明： |
设备可以根据客户要求定制手动/半自动
(Customized:Semiautomatic or manual) |
