适用工件：
(Applicable parts) |
6"*1花篮，8"*1 pc花篮
6"*1 Cassette,8"*1 pc Cassette |
批量产能：
(Capacity) |
1 batch/10min |
工艺流程：
(Procedure flow) |
上料(手动)→QDR槽→OF槽→超声药液槽→超声药液槽→QDR槽 →下料(手动)
Load(Manual)→QDR Tank→OF Tank→Ultrasonic Cleaning Agent Tank→Ultrasonic Cleaning Agent Tank→QDR Tank→Unload (Manual) |
主要材料：
(Major material) |
金属骨架SUS304+PP乳白板，槽体采用PPN/SUS316
(Metal frame SUS 304+Ice-cream PP board,Tank uses PPN/SUS316) |
运送方式：
(Transportation) |
手动传送
(Manual) |
节拍时间：
(Step time) |
依工艺可调
(Based on process,Adjustable) |
工艺效果：
(Process effect) |
清除晶圆片表面的残余抛光液和大颗粒(Removal residual slurry and larger particle on the surface of wafer) |
其他说明：
(Others) |
设备可以根据客户要求定制手动/半自动
(Customized:Semiautomatic or manual) |
