适用工件：
(Applicable parts) |
8''&12'’晶棒清洗机
8'′&12''Silicon Ingot Cleaner |
批量产能：
(Capacity) |
5 min/棒
5 min/Ingot |
工艺流程：
(Procedure flow) |
LOAD(上料)→Institutional Positioning &Clamping(机构定位夹持)→Ultrasonic Alkali Washing (超声碱
洗)→Uitrasonic Alkali Washing (超声碱洗)→CDA
Blowing(风干槽吹干)→Cooling &Drying &Buffer (晾干冷却，静置工位)→UNLOAD(下料) |
主要材料：
(Major material) |
金属骨架A3+PP瓷白板，槽体采用SUS304
(Metal frame A3+PP White board,the tank uses SUS304) |
运送方式：
(Transportation) |
机械手自动传送
(Robot arm automatic transportation) |
节拍时间：
(Step time) |
依工艺可调
(Based on process,Adjustable) |
工艺效果：
(Process effect) |
清除晶棒表面的脏污，灰尘颗粒
(Removal dirty and dust on the surface of silicon ingot) |
其他说明：
(Others) |
设备可以根据客户要求定制手动/半自动
(Customized:Semiautomatic or manual) |
